其突出特點是體積小巧、重量輕便,可直接安裝在機床導軌上,便于生產現(xiàn)場快速部署與調試,顯著提升操作便利性。 該儀器主要由穩(wěn)頻激光器、干涉鏡和 6D 傳感器組成。穩(wěn)頻激光器提供穩(wěn)定激光光源,為測量精度奠定基礎;干涉鏡對激光光束進行干涉處理,形成可用于測量的干涉信號;6D 傳感器則是核心部件,集成分光、測長、測直線度、測角度等多重功能,實現(xiàn)多維測量。 穩(wěn)頻激光器發(fā)出的激光光束經干涉鏡干涉后,進入 6D 傳感器內的分光鏡,被分為三束功能不同的光束:
第一束光(長度測量):光束經錐角反射棱鏡反射后,返回干涉儀與參考光束產生干涉并形成條紋。光學相位探測器識別條紋后,通過電子計數(shù)記錄精確長度位置,可實現(xiàn)微米級甚至納米級位移測量。 第二束光(直線度測量):作為直線度測量的參考光束,構建測量基準。傳感器與參考光束的相對位移由傳感器內的橫向光電二極管監(jiān)測,通過分析位移數(shù)據(jù)計算機床導軌的直線度誤差。 第三束光(角度測量):為傳感器內小型光電測角儀提供參考光源。測角儀通過檢測光束角度變化,實現(xiàn)對俯仰角和偏擺角的精確測量,捕捉機床運動中的角度偏差。
在機床精度校準中,可全面測量導軌的直線度、垂直度、俯仰角、偏擺角等參數(shù),為精度調整提供數(shù)據(jù)支撐;適用于航空航天、精密模具、光學元件等高精度制造領域,確保零部件加工精度;還可通過定期測量,實時監(jiān)測機床等設備的精度變化趨勢,提前發(fā)現(xiàn)潛在故障,實現(xiàn)預防性維護。 具備多維同步測量能力,可同時完成長度、直線度、角度(俯仰角、偏擺角)等 6 個維度的測量,大幅提高效率;基于激光干涉原理與先進光電檢測技術,保障高精度與穩(wěn)定性;6D 傳感器集成多種測量功能,簡化系統(tǒng)結構,降低安裝調試難度,提升數(shù)據(jù)關聯(lián)性與一致性。
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